美国衍射光栅技术与产品开发商Inprentus宣布获得一份新合同，将为EUV测量产品供应商EUV Tech公司提供定制设计的发光衍射光栅，用于半导体计量。目前，合同金额尚未披露。

具体来看，I单片机解密nprentus和EUV Tech将合作优化光学元件的设计，以最大限度地提高半导体计量应用的效率和光学特性。

对于此次合作，EUV Tech首席执行官Patrick Naulleau表示：“单片机解密与Inprentus团队的合作使EUV Tech能够在开发独特的新型EUV掩模相位测量工具方面显著缩短上市时间，同时还提供了最先进的光学组件。”

EUV Tech成立于1997年，总部位于美国加利福尼亚州马丁内斯，能够为半导体行业设计、制造和提供波长EUV测量工具的生产。

Inprentus公司成立于2012年，总部位于美国伊利诺斯州，单片机解密专注于设计、制造和销售用于同步辐射设施、半导体制造和增强现实（AR）波导的衍射光栅，其客户包括了不少全球500强企业、学术机构和政府实验室。

成立以来，该公司旨在将创新的纳米级刻划技术商业化。单片机解密该技术是一种高精度曲面图形化的通用方法，特别适用于X射线和EUV衍射光学产品的制造，它必须以0．1度角的精度成型，并在几十厘米的距离上以纳米精度进行定位。

据介绍，提高X射线、紫外线和可见光光谱分析应用中的光学效率，是激光、光谱学和同步光源市场的长期目标。在过去的两年中，Inprentus能够提供更好的衍射光栅规格，从而提供了更高的光学效率、新的束内诊断功能，以及比以往商业化应用更高的分辨率，这些改进是使用标准的衍射光栅统治技术无法实现的。在过去的几年里Inprentus不断实现突破，并为自身的同步加速器和自由电子激光器客户提供支持。