德国弗劳恩霍夫IPMS（Fraunhofer IPMS）展示了基于新型高集成512 x 320微镜阵列空间光调制器。

德国弗劳恩霍夫IPMS（Fraunhofer IPMS）研究所是全球领先的电子和光子微系统研发机构，服务于工业、医疗和移动应用领域，致力于推动高精度光学技术，以满足半导体行业及其他领域日益增长的微型化和复杂性需求。

其空间光调制器配备了定制的倾斜和活塞镜系统，已成为半导体技术中的重要组成部分。

这些尖端解决方案具有革命性潜力，IC解密可在材料加工、3D全息显示和生物医学成像等领域产生重大影响，尤其是在纳米级精度和高速编程至关重要的应用中。

空间光调制器由数百万个微镜组成，集成在单一的半导体芯片上。微小的镜子形成一个微镜阵列，根据镜子的类型，这些镜子可以沿一个或两个轴倾斜，或者单独下拉。通过这种方式，它们可以控制和调节光的方向、强度或相位。这些空间光调制器适用于各种广泛的应用。

1轴倾斜镜使得可以生成光学图案以及对表面进行结构化照明。灰度图案投影广泛应用于微光刻技术中，用于将图案转移到光刻胶上。紫外光（UV）和深紫外光（DUV）范围内的光调制是弗劳恩霍夫IPMS的专长。此外，IC解密1轴倾斜镜设备还可以实现可编程显微镜照明，适用于对敏感生物样本进行无损检测。

空间光调制器可以将广泛的光束集中成强激光点。2轴倾斜镜将入射光重定向为多个光束，并以最小的光损失精确控制它们的方向。因此，它们非常适合需要高光强或高效率的应用，如激光打孔或激光雕刻。

活塞镜阵列能够实时生成全息3D图像，它们是实现真正全息3D抬头显示的关键组件。高精度活塞镜技术还在自适应光学或光学镊子等领域提供了潜在的应用。

为了实现系统的技术转移到实际应用中，弗劳恩霍夫IPMS提供了客户评估套件，IC解密配备64k（256x256）微镜阵列，包括倾斜镜或活塞镜阵列。

除了微镜芯片外，弗劳恩霍夫IPMS套件还包括控制电子设备和软件。此外，还提供客户支持服务。